特征 ·高速实时跟焦
智能对焦系统高速离焦量采样,能够迅速检测目标表面的离焦距离和离焦方向,快速调整工作距离,确保被测表面能够实时清晰成像。在常规的10倍物镜,离焦100um的情况下,再对焦时间小于100ms左右。

·亚微米级追焦精度
智能对焦系统的对焦精度达到亚微米级,对焦精度优于1/3物镜景深。

·广域对焦范围
在常规物镜倍率下,智能对焦系统拥有足够大的对焦范围,可弥补目标物上料时的高度定位偏差,适应更复杂的对焦场景。

·场景适应性佳
适用多种材质,能够兼容更复杂的目标表面纹理,满足严苛的检测需求,适应不同的成像波段需求。

典型应用
半导体、显示面板、生物医疗检测